与此同时,天工然而,序压学网而非逐层堆叠,缩至数分网站或个人从本网站转载使用,闻科并结合新型三维纳米打印技术,桌面钟新其原理是光将数利用极紫外光将电路图案“打印”到硅基底上,成本更低且更易改造的刻机桌面级设备。该技术主要适用于具有周期性结构的天工器件制造,
团队称,序压学网通常只能以二维方式逐层堆叠打印,缩至数分例如存储芯片和光子器件。闻科从而将曝光时间缩短至几分钟。桌面钟新但后续处理过程往往需要数天时间。电脑等电子设备中的芯片。这项工作目标是降低半导体研究成本,该技术还有望应用于纳米药物、他们已利用该装置测试了新型EUV光刻材料,相关研究发表于新一期《纳米快报》。导致全球仅有少数企业具备使用和研发能力。团队对传统EUV光刻系统进行了大幅简化,现有的EUV光刻技术在制造三维纳米结构时,
特别声明:本文转载仅仅是出于传播信息的需要,须保留本网站注明的“来源”,现有商用EUV光刻机造价通常超过2亿美元,量子计算和新材料合成等领域。实现更小尺寸半导体结构的制造,体积大到需要占据整个房间,最终形成手机、为降低研究门槛,仅保留核心组件,图片来源:得克萨斯大学奥斯汀分校
EUV光刻是当前先进芯片制造的核心技术,新打印技术突破了这一限制。请与我们接洽。未来还将开展更多实验验证。团队希望进一步提高打印速度和加工复杂度,将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟,此外,
现阶段,研究团队表示,并自负版权等法律责任;作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜,
| 桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟 |
科技日报北京6月2日电 (记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外(EUV)光刻装置,
得克萨斯大学工程师张志豪在他的实验室里和一名学生在一起。目前,并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性;如其他媒体、新技术能并行构建多个纳米层级结构,进一步降低了半导体芯片制造门槛。团队引入一种名为“体积式3D图案化”的新型打印技术。从而提升芯片计算性能。除芯片制造外, 






